LGH-0510-B-EH光柵式測微儀（0.005um分辨率）LGH-0510-B-EH/542-720/542-721
產品特點：
1.裝配了采用新的光電式反射型線性編碼器的高精度測量機。緊湊型機身配合測微頭，與以前的激光測長機等機器裝備組合，大幅削減成本的同時，也為裝置小型化做出巨大貢獻。不僅可以作為高精度零部件的測量和高精度定位、控制裝置的測長傳感器，也適合作為測量機設備的基準規。
2. 也具有低測力規格產品：根據用途可以選擇低測力規格，可以測量易變形工件和高性能膠片等。
3. LGH 系列是與*
用計數器的組合規格。
4.裝配新開發的*
高精度透射型線性編碼器，實現0.005μm(5nm) 的高分辨力
5.在測量范圍10mm 的寬范圍內實現了指示精度0.1μm。適用于標準規的校正· 賦值，以及用于測量機的基準器
技術參數：
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型式
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LGH-0510-B-EH ( 標準型)
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LGH-0510C-B-EH ( 低測力型 ) *2
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貨號
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542-720
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542-721
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測量范圍
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10mm
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分辨力
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0.005m ( 0.01m, 0.05m, 0.1m用計數器可切換)
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指示精度(20°C)
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0.1m
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重復精度(2σ)0.02
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0.02um
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0.02um
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量化誤差
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0.05um
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0.05um
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測桿朝下
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約0.65N以下
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約0.1N以下
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測力
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水平
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約0.55N以下
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使用不可
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測桿朝上
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約0.45N以下
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使用不可
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位置檢出方式
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*
高精度透射型線性編碼器
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*
高精度透射型線性編碼器
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存儲溫度（濕度）范圍
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-10°C～60°C/20～80%(無冷凝）
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-10°C～60°C/20～80%(無冷凝）
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響應速度
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250mm/s
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250mm/s
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重量
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約370g
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約370g
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塵 / 水防護等*
*1
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達到IP54防護等*
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—
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測頭
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硬質合金SR5(M2.5(P=0.45)×5)標準測頭No.120058
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裝夾套筒
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直徑15mm
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軸承類型
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高精度線性滾珠軸承
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輸出電纜長度
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約2m
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接口
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RS-232C USB (SENSORPAK*
用)Digimatic輸出（打印機：**DP-1VALOGGER）I/O電纜
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運行溫度(濕度)范圍
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15～25C(基準溫度度20°C)/30～60%RH(無冷凝)
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*
用計數器規格：
量化誤差±1
分辨力 ±99.999995mm
功能 調零，預調、方向轉換、公差判定（3段/5段）、RS-RINK
接口 RS-232C/ 數顯 /USB ( 僅 SENSORPAK )
電源 附帶 AC 適配器 , DC ＋ 12 ～ 24V, MAX700mA
功耗8.4W ( MAX 700mA )
每個裝置的可靠供電應在 1A 以上
外形尺寸 144 ( W ) × 157 ( D ) × 75 ( H )
重量 約 900g ( 不包括 AC 適配器 )
標準配件
扳手 ( 用于更換測頭 ) ，橡膠腳墊，支架，墊圈 ( 用于計數器 ) ， AC 適配器，
交流電源線， DC 插頭，用戶手冊，檢驗證書